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          晶圓(芯片)減薄/研磨/拋光真空吸盤 grinding

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          減薄/研磨:




          1.通過減薄/研磨的方式對晶片襯底進行減薄,改善芯片散熱效果。

          2.減薄到一定厚度有利于后期封裝工藝。

          常規工藝:

          減薄/拋光到80-100um

          粗糙度: 5-20nm

          平整度: ±3um

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